Вентиляция производств микро­электроники

Системы подготовки воздуха для участков обработки, сборки и контроля электронных компонентов. Компоновка учитывает технологическую линию, локальные чистые зоны и требования установленного оборудования.

Оборудование
участка производства микроэлектроники с кремниевой пластиной

Чистая зона вокруг технологического процесса

Участок сборки компонентов и зона обработки пластин могут требовать разных решений. Подбор начинается с карты помещений и требований к каждой операции, включая локальные зоны внутри оборудования.

Условия для оборудования

В проект передают требования изготовителей станков и линий к температуре, влажности и чистоте воздуха. Эти данные связывают с режимом работы и размещением оборудования.

Помещение и локальные зоны

Уточняют границы чистых зон, расположение рабочих поверхностей и возможность размещения фильтровентиляционных модулей. Отдельно описывают подключения технологических вытяжек.

Изменение производственной линии

Если предусмотрено расширение, его отражают в задании: новые рабочие места, габариты и предполагаемые нагрузки. Доступ к фильтрам и узлам обслуживания проверяют по планировке.

Что понадобится
для подбора

  • Планировка с расположением технологической линии и чистых зон
  • Требования производителей оборудования к воздушной среде
  • Данные о тепловыделениях, вытяжках и графике работы
  • Ограничения потолочного пространства и план расширения участка

Оборудование
для вашей отрасли

Фильтровентиляционные модули для локальных зон, воздухораспределители и приточно-вытяжные установки для помещений производства.

Вопросы по проекту

Можно ли расширить действующий производственный участок?

Для оценки нужны схема существующей вентиляции, план новых рабочих мест и требования добавляемого оборудования. Проверяют, какие условия уже обеспечивает система и как изменятся нагрузки. После этого определяют состав доработки.

Как выбрать ФВМ для рабочей зоны?

Учитывают размеры и геометрию зоны, требования к частицам, характер воздушного потока и размещение рабочих мест. Затем согласуют количество модулей, фильтры, управление и условия монтажа. Одного значения площади для подбора недостаточно.

Можно ли оборудовать локальную чистую зону внутри помещения?

Такое решение возможно, если оно соответствует технологическому заданию. Нужно оценить влияние окружающего воздуха, расположение источников загрязнения и границы рабочей зоны. Локальное решение не присваивает автоматически тот же класс чистоты всему помещению.

Обсудим ваш проект

Запросить КП

Политика обработки персональных данных